真空鍍膜廠家生產(chǎn)設(shè)備的配置因工藝流程而異,但一般需要以下幾類設(shè)備。
真空質(zhì)量檢測(cè)儀:用于檢測(cè)真空質(zhì)量,如真空度、氣體成分等。檢測(cè)結(jié)果可以提供給其他設(shè)備參考,以確保設(shè)備工作順暢。
真空泵:用于排出工藝室內(nèi)氣體,保持工藝室真空度。根據(jù)不同的需求,可以選擇多級(jí)旁通油封泵、羅茨泵、干式泵以及分子泵等。
濺射鍍膜設(shè)備:主要由光源、電源、反應(yīng)室以及底座、夾具等部分構(gòu)成。通過電子束或電弧等方式將金屬或半導(dǎo)體材料熔化并濺射到基底上,質(zhì)量均勻且造價(jià)較低。
電子束鍍膜設(shè)備:其主要組成部分為反應(yīng)室、電子束裝置、工業(yè)自動(dòng)化控制系統(tǒng)等。通過電子束使材料加熱到蒸發(fā)溫度,并把蒸汽噴灑在基底上,成膜速度快,精度高,適用于光學(xué)功能薄膜和高階電子元器件等。
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備:也稱作PECVD設(shè)備,是通過離子化的氣體生成等離子體,并通過化學(xué)反應(yīng)生成膜層。適用于制備功能性涂層,如硅氫化膜、氮化銅等。
磁控濺射設(shè)備:真空鍍膜廠家直銷批發(fā)的產(chǎn)品使用恒磁或變磁場(chǎng)將磁性材料熔化,并噴射到基底上。該設(shè)備制備的膜層厚度均勻,結(jié)構(gòu)致密,適用于制備光學(xué)鏡片以及磁盤等。
光譜儀:用于測(cè)試薄膜的光學(xué)性質(zhì)、厚度和材料成分。通過反射率、吸收率、折射率等精細(xì)定量分析薄膜狀況,供質(zhì)量控制人員進(jìn)行質(zhì)量管理。
清洗設(shè)備:用于清洗基底和膜層,去除表面雜質(zhì)。常用的清洗方法包括化學(xué)氧化、離子水洗等。
烘烤爐:用于烘干基底及膜層。通過加熱基底、膜層達(dá)到特定溫度,去除水分和有機(jī)物質(zhì),增強(qiáng)膜層附著力和質(zhì)量。
處理氣體供應(yīng)器:七彩金屬真空鍍膜廠家常用的處理氣體有氮?dú)狻⒀鯕?、氬氣、氦氣、乙炔、氨氣等,常用于清洗、備料、反?yīng)原料、抽氣、保護(hù)等。
總之,真空鍍膜生產(chǎn)設(shè)備種類繁多,每一種設(shè)備的特點(diǎn)和應(yīng)用場(chǎng)景各異,選擇合適的設(shè)備能夠提高生產(chǎn)效率、質(zhì)量和降低成本。
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